黛爾特（北京）科技有限公司
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黛爾特研制出四氟化碳傳感器
黛爾特研制出四氟化碳傳感器|NDIR-CF4傳感器
黛爾特研制出四氟化碳傳感器新聞稿件關鍵詞：四氟化碳傳感器、CF4傳感器、非分散紅外、溫室氣體
四氟化碳是一種鹵代烴，化學式CF4。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳，也可以被視為一種無機化合物。由于CF4的用途廣泛,可通過多種途徑進入土壤水體、大氣形成環境污染。通過擴散并釋放在大氣中，進入平流層,進而破壞臭氧層。故目前世界許多國家就該類污染物質對臭氧層的影響開展了大量的研究工作,證實了臭氧層的損耗與該系列氣體在大氣中釋放的自由基有關。至此,人類逐漸認識到由于生產活動引起的臭氧層耗損問題,并為解決這一問題進行了有效的國際合作。
黛爾特公司研制的NDIR-CF4紅外四氟化碳傳感器是一款基于單光源雙波長非色散紅外測量技術(NDIR)為原理的氣體傳感器,該傳感器是采用優異紅外光源和探測器，選用鍍金器件作為光路通道，可選配氣體過濾裝置，提高了測量精度和穩定性。
- 故障診斷防誤報技術
- 采用全鍍金抗腐蝕氣室
- 溫度及壓力補償技術
- 使用壽命大于10年
NDIR-CF4紅外四氟化碳傳感器技術參數
檢測原理： 單光源雙波長非色散紅外(NDIR)
預熱時間 ＜5min（預熱時間）
流量：0.2~1 L/min
采樣方式：管道式
量程：0~1000 ppm
線性誤差: ±10 ppm
響應時間: ＜12s(@500mL/min)
重復性（相對標準偏差）:＜1%
檢出限: 10 ppm
分辨力: 1 ppm
長期穩定性（零點）: ≤±20 ppm/年
長期穩定性（量程）: ≤±40 ppm/年
溫度系數（零點）: ≤±1 ppm/℃
溫度響應（量程）: ≤±2 ppm/℃
NDIR-CF4紅外四氟化碳傳感器應用：
廣泛用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體，用于低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑泄漏檢測，也用于高壓絕緣開關（GIS）內的CF4氣體泄漏監測。
